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一、退火工藝是不是達到要求溫度：
石英退火爐通常選用熱處理回火熱處理工藝，通常稱之爲“退火”。可以根據退火爐的觀查孔開展觀查，退火區域內的不鏽鋼管應處在白炽情況，但不容易產生變軟失光。
二、退火氛圍：
通常將純氫作爲退火氛圍，而且氛圍的純淨度甄選爲99.99%以上。假如空氣的另一部分是惰性氣體，則純淨度很有可能會減少，但在其中不可包括太多的o2或水蒸汽。
三、爐體的密閉性：
石英退火爐應關掉並與外部空氣隔離：假如將氡氣作爲保護氣體，則僅開啓一個出氣口(用以引燃排出來的氡氣)。可以應用肥皂液將查驗方式運用于退火爐連接頭的間隙，以查看氣體是不是在流動性。運輸氣體非常容易的地點是退火爐進到管路的地點和排出管路的地區。在這個地方的密封圈是尤其便于損壞。常常檢查以開展變更。
四、保護氣壓：
爲了避免微泄露，火爐中的保護氣體應維持相應的正壓力。如果是氡氣保護性氣體，通常大于20kBar。
五、爐中的水蒸汽：
一方面，檢查爐體的材料是不是幹躁。初次安裝溶爐時，需要幹躁溶爐行爲主體的原材料。次之，進到火爐的不鏽鋼鋼管有沒有太多的水迹。假如管路上面有孔，切勿滲水。不然，火爐的氛圍將被催毀。如果這類類型的問題沒有產生，則應在約20米後縮回去的不鏽鋼管將開始發光，這也是一種反射面。
以上就是石英退火爐的幾種常見問題。
