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石英退火爐將原材料遲緩升溫到適當環境溫度，保持穩定時長，接着以合適速度致冷(通常是緩慢致冷，有時是控制致冷)的一種熱處理工藝。目的是使根據鍛造、鍛軋、焊接或铣削生產制造的原材料或当前產品工件變松，改進延展性和可塑性，使成份均勻化，除去剩下應力，或得到預測的物理性能。
石英退火爐溫度控制均勻性准確測量可選用位移法或一幹熱電阻測量方法。前面是運用一支裝配式建築熱電阻在爐膛內挪動，進而測出各一部分的環境溫度。這些辦法只有准確測量一個平面內同一條線裏的幾個點，並且不可以測出爐內室內空間的環境溫度，因而有局限。只適用退火爐爐內規格較小的爐子。後面一種是由一幹熱電阻與此同時放進爐膛內對某一區域完成准確測量。由子准確測量的是一個完整的區域，又能同時讀值，能夠准確測量各種各樣的爐內，生產制造上也較爲可用。其實際程序流程如下所示：
按基本程序流程將溫度控制升至查驗所需求的環境溫度並隔熱保溫2-3鍾頭，隨後開啓爐膛，把充足數目的准確測量熱電阻按照規定的地方放進爐膛內。爲了能能使熱電阻的地方固定不動，通常是依據爐內尺寸大小，先做到一個架構。把熱電阻連着架構一起放進爐膛內，關掉爐膛後即逐漸讀值。讀值應不斷足夠的時間，便于明確環境溫度的遍布特點。在環境溫度平穩後，讀值應再不斷減少30分鍾。
